UBS: китайская литография находится на уровне ASML 2004 года
По оценке аналитика UBS Франсуа-Ксавье Бувинье, китайские разработчики литографического оборудования заметно отстают от западных конкурентов. Ситуация может начать меняться через два—пять лет, если в КНР наладят массовый выпуск иммерсионных DUV-сканеров.
Китайские компании, работающие над литографическим оборудованием, находятся примерно на той стадии развития, на которой ASML была в 2004 году. Такую оценку в записке для клиентов UBS дал аналитик Франсуа-Ксавье Бувинье, сообщает Bloomberg.
По его мнению, в ближайшие два—пять лет разрыв может начать сокращаться: китайские производители могут перейти к массовому выпуску иммерсионных DUV-установок, а фабрики — начать применять их для выпуска чипов. Однако даже в таком случае полупроводниковая отрасль КНР, как считает аналитик, останется существенно позади западной.
Китайские поставщики уже выпускают некоторые виды оборудования для производства микросхем. В частности, ACM Research, AMEC и Naura разработали и наладили серийный выпуск установок для осаждения материалов, очистки пластин, травления и процессов окисления и диффузии. Но конкурентоспособную литографическую машину для сравнительно современных техпроцессов с массовым производством пока не создал ни один китайский производитель.
Литография считается одним из наиболее сложных этапов производства передовых полупроводников. Сам сканер состоит из десятков тысяч компонентов, а для промышленного применения он должен одновременно обеспечивать разрешение, точность совмещения слоёв, контроль фокуса, стабильность характеристик и предсказуемую производительность. Одной высокой точности недостаточно, если установка не способна обрабатывать пластины с нужной скоростью и уровнем брака.
Ключевым китайским разработчиком литографического оборудования остаётся Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE), основанная в 2002 году. По данным Tom's Hardware, компания в 2023 году представила иммерсионную DUV-систему SSA/800-10W, рассчитанную на выпуск чипов вплоть до 28-нм техпроцесса. При этом издание не обнаружило подтверждений её серийных поставок или использования хотя бы одним производителем в массовом выпуске микросхем.
В июле вновь появились сообщения о массовом производстве китайских иммерсионных DUV-сканеров компанией Shanghai Aishengna Electronic Technology Group, которую связывают со SMEE. Однако эти сообщения, как указывает Tom's Hardware, не сопровождались данными о целевых техпроцессах, производительности, поставках тестовых машин или результатах квалификации оборудования на фабриках.
Даже после появления первой работающей установки её внедрение в производство занимает продолжительное время. Производителю чипов необходимо испытать машину на инженерных пластинах, сопоставить её с существующим оборудованием, разработать технологические режимы и провести квалификацию для отдельных слоёв. По оценке Tom's Hardware, интеграция совершенно нового литографического сканера в действующий производственный процесс требует как минимум двух лет, а на практике может занять больше.